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作者(中文):李芃節
作者(外文):Lee, Peng Chieh
論文名稱(中文):半導體製造參數性良率建模與分析及其實證研究
論文名稱(外文):Modeling and Analysis for Parametric Yield Enhancement in Semiconductor Manufacturing and an Empirical Study
指導教授(中文):簡禎富
指導教授(外文):Chien, Chen Fu
口試委員(中文):許嘉裕
陳暎仁
口試委員(外文):Hsu, Chia Yu
Chen ,Yin Jen
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:工業工程與工程管理學系
學號:101034609
出版年(民國):106
畢業學年度:105
語文別:英文
論文頁數:31
中文關鍵詞:資料挖礦、半導體製造、晶圓允收測試、電性參數、高共線性、偏最小平方法、約束型偏最小平方法
外文關鍵詞:Data Mining、Semiconductor Manufacturing、Wafer Acceptance Test、Electrical parameters、High collinearity、Partial Least Square、Constrained Partial Least Square
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