Exponentially weighted moving average (EWMA) 控制器是半導體科技產業中最常被使用的製程批次控制手法。現存文獻大多只在單一機台生產單一產品的生產型態下，探討此控制器之績效表現及分析，然而目前國內 IC 產業製造廠商大多屬於單一機台生產多樣產品，或多機台生產多樣產品的混合生產型態 (mixed production run)。針對此類混合型生產型態，文獻上已有學者提出 tool-based (TB)、product-based (PB)、cycle resetting (CR) 及 modified tool-based (MTB) 控制器等。這些控制方法雖可逐步調整多產品的產出值到特定目標值，但在產品交替生產的過程中，轉換產品後之製程產出值與目標值的偏差量卻無法有效地被降低，導致製程產出值的 total mean square error (TMSE) 過大之現象。MTB 控制器雖可克服此問題，但僅針對沒有製程漂移 (drift) 現象進行探討。在製程有漂移時，MTB 控制器之績效並不理想，因此，本文建構出drifted-version MTB (簡稱 DMTB 控制器) 來處理此問題。首先，本文推導出此控制器製程產出的公式及穩定條件。接著，以模擬的方式探討 DMTB 控制器與 MTB及CR控制器之 TMSE (total mean square error) 績效分析，結果顯示 DMTB 控制器優於 MTB、CR 控制器，在比較的準則下，DMTB可分別改善製程的TMSE達10.6% 及89.9%。

第一章 簡介
1.1 前言
1.2 批次控制簡介
1.3 批次生產型態簡介
1.4 研究動機
1.5 研究架構
第二章 文獻回顧與問題描述
2.1 Single EWMA 控制器簡介
2.2 多產品混和生產之製程控制器簡介
2.2.1 Tool-based 控制器
2.2.2 MTB 控制器
2.2.3 Product-based 控制器
2.2.4 CR控制器
2.3 實例說明與問題描述
第三章 DMTB 控制器之分析
3.1 雙產品DMTB控制器之建構
3.2 雙產品DMTB控制器的製程產出及穩定性質
3.3 DMTB控制器與MTB控制器之績效表現
3.4 DMTB控制器與CR控制器之績效表現
第四章 結論與後續研究
參考文獻
附錄

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