具高介電常數之超晶格變比例氧化鉿鋯之矽奈米片環繞式閘極場效電晶體之研究__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

圖書館首頁| 網站地圖| 首頁| 本站說明| 聯絡我們| 相關資源| 台聯大論文系統| 操作說明 | English

帳號：guest(18.117.94.172) 離開系統

字體大小：

字級放大

字級縮小

預設字形

詳目顯示

第 1 筆 / 共 1 筆

第一頁

上一頁

下一頁

最後一頁

/1頁

以作者查詢圖書館館藏

、以作者查詢臺灣博碩士論文系統

、以作者查詢全國書目

論文基本資料
電子全文

作者(中文):	傅鈺閔
作者(外文):	Fu, Yu-Min
論文名稱(中文):	具高介電常數之超晶格變比例氧化鉿鋯之矽奈米片環繞式閘極場效電晶體之研究
論文名稱(外文):	Study of Silicon Nanosheets Gate-All-Around Field-Effect Transistors with High Dielectric Constant Hf1-xZrxO2 Superlattice
指導教授(中文):	吳永俊
指導教授(外文):	Wu, Yung-Chun
口試委員(中文):	胡心卉侯福居
口試委員(外文):	HU, HSIN-HUI Hou, Fu-Ju
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	半導體研究學院
學號:	111501543
出版年(民國):	113
畢業學年度:	112
語文別:	中文
論文頁數:	69
中文關鍵詞:	矽奈米片、高介電常數、超晶格、變比例氧化鉿鋯、環繞式閘極場效電晶體
外文關鍵詞:	Silicon Nanosheets、High Dielectric Constant、Superlattice、Hf1-xZrxO2、Gate-All-Around Field-Effect Transistors
相關次數:	推薦:0 點閱:21 評分: 下載:0 收藏:0

(此全文20270730後開放外部瀏覽)
電子全文
摘要

推文
推薦
評分
引用網址
轉寄

第一頁

上一頁

下一頁

最後一頁

相關論文

1.	具高介電常數之超晶格氧化鉿/氧化鋯之鍺奈米片環繞式閘極場效電晶體之研究
2.	鍺通道之鐵電環繞式閘極場效電晶體與互補式場效電晶體之研究
3.	超晶格氧化鉿鋯結合矽鍺/矽堆疊通道N型與P型環繞式閘極多位元操作鐵電記憶體之研究

簡易查詢 | 進階查詢 | 論文瀏覽 | 熱門排行 | 管理/審核者登入