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作者(中文):曾銀彬
作者(外文):Tseng, Yin-Bin
論文名稱(中文):應用QC Story改善半導體機台產能與品質之研究
論文名稱(外文):A Study on Improving Semiconductor Machine Productivity and Quality Using QC Story
指導教授(中文):吳建瑋
指導教授(外文):Wu, Chien-Wei
口試委員(中文):林東盈
巫佳煌
王姿惠
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:工業工程與工程管理學系碩士在職專班
學號:111036518
出版年(民國):113
畢業學年度:112
語文別:中文
論文頁數:80
中文關鍵詞:半導體誤警報品質改善歷程
外文關鍵詞:SemiconductorFalse alarmQC Story
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近年來,全球各國受到疫情影響,紛紛實施居家隔離和封城等措施,以遏制疫情擴散,對人類的學習、工作和生活方式產生了巨大影響。學校和企業紛紛轉向遠距教學和居家辦公。同時,全球半導體產業因疫情而面臨產能短缺,導致全球晶片供不應求,引發了2021年到2022年半導體市場顯著的成長。在這個疫情大流行的時代,半導體產能短缺的情況下,「得產能與品質者得天下」成為了關鍵。因此,如何在保證產能的同時兼顧品質,成為了當前亟需解決的重大挑戰。
本文將以某半導體晶圓代工廠為例,探討長期機台數不足及近年來產能與品質不佳的問題。研究的主要目標是解決以下兩個關鍵問題:1)目前產能約為67%,目標是提升至83%;2)缺陷產生率高達32%,目標是降低至小於8%,且平均缺陷顆數為7.56顆,目標是降至少於2顆,而這些問題經常成為產線的瓶頸。
為了改善這些問題,本文將採用QC Story(品質改善歷程)方法來進行流程改善,透過該方法找出真正的問題與根本原因,並結合PDCA(Plan-Do-Check-Act)循環進行分析與驗證。具體的改善策略包括優化機台保養手法、機台改善、工具改造,最終具體結果如下:(1)產能提升至83%,超過15%;(2)缺陷失敗率降至小於8%,並將平均缺陷顆數降至2顆以下,減少機台缺陷的產生;(3)全面提升機台穩定性讓誤警報降至每月小於80次。提升整體人員的修機能力,縮短維修時間。
這些改善措施提升產能使用率與品質,滿足公司與客戶設定的目標,並將此次改善經驗標準化與文件化,分享給公司其他相關部門工廠。

關鍵詞:半導體、誤警報、品質改善歷程




In recent years, countries around the world have been affected by the COVID-19 pandemic, leading to widespread implementation of measures like home isolation and city lockdowns to contain the spread of the virus. These measures have had a profound impact on human learning, work, and lifestyles. Schools and businesses have increasingly adopted remote learning and telecommuting practices. Simultaneously, the global semiconductor industry has faced capacity shortages due to the pandemic, resulting in a global shortage of chips and triggering significant growth in the semiconductor market from 2021 to 2022.
In this era of the pandemic, with semiconductor productivity shortages prevailing, the saying "those who control productivity and quality prevail" has become crucial. Therefore, balancing productivity while ensuring quality has become a critical challenge that needs urgent resolution.
This article will use a certain semiconductor wafer foundry as an example to explore the issues of insufficient equipment numbers over the long term and recent problems with capacity and quality. The main objectives of the study are to address the following two key issues: 1) Current productivity is approximately 67%, with a goal to increase it to 83%; 2) Defect rate is as high as 32%, aiming to reduce it to less than 8%, and the average number of defects is 7.56ea, with a goal to reduce it to less than 2ea. These issues frequently become bottlenecks in the production line.
To address these issues, this article will employ the QC Story method for process improvement. This method will help identify the real problems and root causes, complemented by the PDCA cycle for thorough analysis and verification. Specific improvement strategies will include optimizing equipment maintenance procedures, enhancing machine performance, and upgrading tools. The expected outcomes are as follows: (1) Increase productivity to 83%, exceeding by over 15%; (2) Reduce defect failure rate to less than 8% and bring the average number of defects per unit down to below 2ea, thereby minimizing equipment-related defects; (3) Enhance overall machine stability to reduce false alarms to less than 80 per month. Improve the repair capability of the team to shorten maintenance time.
The ultimate goal of these improvement measures is to significantly enhance both productivity utilization and quality, thereby meeting the goals set by the company and satisfying customer requirements. Additionally, these improvements will be shared with partner factories for mutual benefit and knowledge sharing.

Keywords: Semiconductor, False alarm, QC Story




摘要 ⅰ
Abstract ⅱ
誌謝 ⅳ
目錄 ⅴ
圖目錄 ⅶ
表目錄 X
第一章 緒論 1
1.1 研究背景與動機 1
1.2 研究目的 3
1.3 研究架構 3
第二章 文獻探討 5
2-1 半導體機台構造與傳送環境介紹 5
2-1-1 晶圓製程介紹 5
2-1-2 真空腔體介紹 8
2-1-3 傳送環境介紹 11
2-2 QC Story及業界的應用與發展 14
2-3 經驗知識傳承重要性 16
2-4 晶圓缺陷改善 20
第三章 研究方法 20
3-1 QC Story研究方法與步驟 200
3-2 PDCA流程與運用 2222
3-3要因分析法 24
3-4缺陷量測方法簡介 26
第四章 個案驗證 288
4-1 個案問題研究背景與動機 28
4-2 運用QC Story 改善機台產能與品質 32
4-2-1 主題選定與團隊成立 34
4-2-2 現況掌控與目標設定 42
4-2-3 要因分析 43
4-2-4 定義及驗證真因 44
4-2-5 列出選定及永久對策 56
4-2-6 執行永久對策及確認效果 69
4-2-7 合理化與標準化 71
4-2-8 殘餘問題檢討與反應 73
4-3 實驗結果與討論 76
第五章 結論與未來展望 77
5-1 結論 77
5-2 未來研究方向 78
第六章 參考文獻 79




參考文獻
中文文獻
1. 王玟堡(2014)。題目:「應用QC Story提升工具機鑄造廠作業績效之實證研究─以W公司為例」。國立雲林科技大學工業工程與工程管理學系碩士論文,雲林縣。
2. 王靜怡(2014)。題目:「從整合8D與TRIZ探討系統化品質改善流程─以硬碟製造為例」。國立交通大學工學院工程技術管理學程碩士論文,新竹市。
3. 李威蒼(2008)。題目:「整合限制理論邏輯樹圖工具於課題達成型QC Story之運用─個案研究」。國立交通大學管理學院碩士在職專班工業工程與管理組碩士論文,新竹市。
4. 林民浩(2013)。題目:「維修人員問題診斷經驗傳承及其成效」。國立清華大學工業工程與工程管理學系碩士論文,新竹市。。
5. 周龍鴻(2022)。題目:「智慧型知識管理系統建構流程─以半導體產業為例」。國立成功大學高階管理碩士在職專班,台南市。
6. 陳全興(2017)。題目:「應用QC Story提升橡膠生產率」。逢甲大學工業工程與系統管理學系,台中市。
7. 陳駿元(2020)。題目:「應用QC Story結合TRIZ方法改善晶圓後段製程之品質問題」。國立清華大學工業工程與工程管理學系碩士論文,新竹市。
8. 蔡孟儒(2012)。題目:「應用QC Story改善半導體設備產生微粒缺陷之個案研究」。國立成功大學工程科學系專班碩士論文,台南市。
9. 鄭安蕎(2015)。題目:「以制度、組織及文化三構面分析─企業推導品管圈的關鍵成功因素」。國立清華大學工業工程與工程管理學系碩士論文,新竹市。
10. 蘇朝墩編著(2015)。《品質管理》。初版。前程文化事業有限公司出版,第298-301頁。
11. Hong Xiao著,羅正忠 張鼎張譯(2002)。《半導體製程技術導論》。第二版。台灣培生教育出版: 學銘圖書發行。
網站文獻
1.台灣半導體產業產值分析(2022)。經濟部:我國半導體產值全球第二7nm以下製程產能占全球7成。
https://finance.ettoday.net/news/2319488
2.工研院產業發展趨勢研討(2022)。從市場脈動看全球半導體產業發展機會
https://www.sogi.com.tw/articles/itri/6256971
3. KLA Tencor Surfscan SP 3 Particle Measurement官方網站。
https://www.bridgetronic.com/listing/65019/
4.台灣聯合晚報。2016-2015年AI半導體年度產值趨勢圖,AI運算核心半導體 四領域前程遠大。
https://www.chinatimes.com/newspapers/20171204000073-260210?chdtv





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