以樞紐致動器達成動態解耦合之雙軸壓電式微掃描面鏡設計__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	楊惠名
作者(外文):	Yang, Hui-Ming
論文名稱(中文):	以樞紐致動器達成動態解耦合之雙軸壓電式微掃描面鏡設計
論文名稱(外文):	Design of Bi-axial Piezoelectric MEMS Micro Mirror with Gimbal Actuator for Dynamic Decoupling
指導教授(中文):	方維倫
指導教授(外文):	Fang, Wei-leun
口試委員(中文):	賴梅鳳謝哲偉
口試委員(外文):	Lai, Mei-Feng Hsieh, Jerwei
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	奈米工程與微系統研究所
學號:	111035502
出版年(民國):	113
畢業學年度:	112
語文別:	中文
論文頁數:	120
中文關鍵詞:	微機電系統、雙軸微掃描面鏡、壓電致動、樞紐致動器、利薩茹圖形、動態解耦合
外文關鍵詞:	MEMS、Bi-axial micro scanning mirror、Piezoelectric actuation、Gimbal actuator、Lissajous pattern、Dynamic decoupling
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