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作者(中文):楊承恩
作者(外文):Yang, Cheng-En
論文名稱(中文):利用電漿子超材料吸收層之設計以實現CMOS-MEMS熱電式紅外線感測器之吸收光譜調變
論文名稱(外文):Design of Plasmonic Metamaterial Absorber to Realize Absorption Spectrum Modulation of CMOS-MEMS Thermoelectric Infrared Sensor
指導教授(中文):方維倫
指導教授(外文):Fang, Weileun
口試委員(中文):賴梅鳳
蔡明翰
口試委員(外文):LAI, MEI-FENG
CAI, MING-HAN
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:動力機械工程學系
學號:111033558
出版年(民國):113
畢業學年度:112
語文別:中文
論文頁數:131
中文關鍵詞:熱電式紅外線感測器、電漿子超材料
外文關鍵詞:CMOS-MEMS、Thermoelectric IR sensor、Metamaterial
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