利用柵型匯流排與活塞式模態實現薄膜鈮酸鋰表面聲波共振器橫向雜散模態抑制__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	廖翊成
作者(外文):	Liao, Yi-Cheng
論文名稱(中文):	利用柵型匯流排與活塞式模態實現薄膜鈮酸鋰表面聲波共振器橫向雜散模態抑制
論文名稱(外文):	Transverse Spurious Modes Suppression by Grating Busbar and Piston Mode
指導教授(中文):	李銘晃
指導教授(外文):	Li, Ming-Huang
口試委員(中文):	方維倫李尉彰
口試委員(外文):	Fang, Wei-Leun Li, Wei-Chang
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	動力機械工程學系
學號:	111033548
出版年(民國):	113
畢業學年度:	112
語文別:	中文
論文頁數:	87
中文關鍵詞:	水平剪切模態、高機電耦合係數、X-切面鈮酸鋰晶體薄膜、Y-切面鈮酸鋰晶體薄膜、指叉狀電極、活塞模型
外文關鍵詞:	SAW resonator、X-cut lithium niobite、Y-cut lithium niobite、Inter digital electrode、Spurious mode suppression、Piston mode
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