鹼處理之六錫與六鉿金屬團簇與混合材料並應用於電子束微影__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	黃浚泰
作者(外文):	Huang, Chun-Tai
論文名稱(中文):	鹼處理之六錫與六鉿金屬團簇與混合材料並應用於電子束微影
論文名稱(外文):	Base-treated 6-Sn and 6-Hf Metal Clusters and Their Hybrid Materials for Electron Beam Lithography Applications
指導教授(中文):	劉瑞雄
指導教授(外文):	Liu, Rai-Shung
口試委員(中文):	高蔡勝林俊宏
口試委員(外文):	Kao, Tsai-Sheng Lin, Chun-Hung
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	化學系
學號:	111023574
出版年(民國):	113
畢業學年度:	112
語文別:	中文
論文頁數:	176
中文關鍵詞:	光阻、微影、電子束、鉿、錫
外文關鍵詞:	photoresist、e-Beam、lithography、hafnium、tin
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