以溫度梯度方式沉積氧化鋯鉿改善鐵電電容之極化量與耐久度表現__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	孫胤宸
作者(外文):	Sun, Yin-Chen
論文名稱(中文):	以溫度梯度方式沉積氧化鋯鉿改善鐵電電容之極化量與耐久度表現
論文名稱(外文):	Improved Remanent Polarization and Enhanced Endurance of Ferroelectric Capacitors by Depositing HfZrOx Using Temperature Gradients
指導教授(中文):	巫勇賢
指導教授(外文):	WU, YUNG-HSIEN
口試委員(中文):	吳永俊吳添立
口試委員(外文):	WU, YUNG-CHUN Wu, Tian-Li
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	工程與系統科學系
學號:	111011559
出版年(民國):	113
畢業學年度:	112
語文別:	中文
論文頁數:	55
中文關鍵詞:	鐵電電容、耐久度、漏電流、極化量
外文關鍵詞:	Ferroelectric Capacitor、Endurance、Leakage current、Polarization
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