具高介電常數之超晶格氧化鉿/氧化鋯之鍺奈米片環繞式閘極場效電晶體之研究__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	黃愷崴
作者(外文):	Huang, Kai-Wei
論文名稱(中文):	具高介電常數之超晶格氧化鉿/氧化鋯之鍺奈米片環繞式閘極場效電晶體之研究
論文名稱(外文):	Study of Germanium Nanosheets Gate-All-Around Field-Effect Transistors with High Dielectric Constant Superlattice HfO2/ZrO2
指導教授(中文):	吳永俊
指導教授(外文):	Wu, Yung-Chun
口試委員(中文):	侯福居胡心卉
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	工程與系統科學系
學號:	111011541
出版年(民國):	113
畢業學年度:	112
語文別:	中文
論文頁數:	75
中文關鍵詞:	鍺奈米片、超晶格、氧化鉿/氧化鋯、環繞式閘極、高介電常數、場效電晶體
外文關鍵詞:	Germanium Nanosheets、Superlattice、HfO2/ZrO2、Gate-All-Around、High Dielectric Constant、Field-Effect Transistors
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