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論文基本資料
電子全文
作者(中文):
方治緯
作者(外文):
Fang, Chih-Wei
論文名稱(中文):
創新新穎半導體晶圓在線即時瑕疵檢測—以晶圓分割技術為基礎之瑕疵檢測系統
論文名稱(外文):
Innovative in-line Wafer Defect Inspection System Based on Wafer Segmentation Using Special Image Processing Techniques.
指導教授(中文):
洪世章
指導教授(外文):
Hung, Shih-Chang
口試委員(中文):
胡美智
陳宗權
曾詠青
口試委員(外文):
Hu, Mei-Chih
Chen, Tzong-Chyuan
Tseng, Yung-Ching
學位類別:
碩士
校院名稱:
國立清華大學
系所名稱:
經營管理碩士在職專班
學號:
110076539
出版年(民國):
112
畢業學年度:
111
語文別:
英文
論文頁數:
40
中文關鍵詞:
特殊影像處理
、
晶圓分割
、
晶圓單元定位
外文關鍵詞:
special image processing
、
wafer segmentation
、
wafer unit allocation
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