晶圓級異質整合二維材料電晶體與矽基鰭式電晶體之單晶片式三維積體電路__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	楊昱倫
作者(外文):	Yang, Yu-Lun
論文名稱(中文):	晶圓級異質整合二維材料電晶體與矽基鰭式電晶體之單晶片式三維積體電路
論文名稱(外文):	Monolithic Three-Dimensional Integrated Circuits Realized by Wafer Scale Heterogeneous Integration of 2D Material Transistors and Si FinFETs
指導教授(中文):	邱博文
指導教授(外文):	Chiu, Po-Wen
口試委員(中文):	沈昌宏謝光宇鄭兆欽
口試委員(外文):	Shen, Chang-Hong Hsieh, Kuang-Yeu Cheng, Chao-Ching
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	電子工程研究所
學號:	110063551
出版年(民國):	112
畢業學年度:	112
語文別:	中文
論文頁數:	114
中文關鍵詞:	二維材料、三維積體電路、異質整合技術
外文關鍵詞:	2D material、Monolithic 3DIC、Heterogenneous Integration
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