紫外光臭氧輔助氧化調控二硒化鎢場效電晶體極性與降低接觸電阻之研究__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	陳怡宣
作者(外文):	Chen, Yi-Xuan
論文名稱(中文):	紫外光臭氧輔助氧化調控二硒化鎢場效電晶體極性與降低接觸電阻之研究
論文名稱(外文):	Modulating Polarity and Reducing Contact Resistance in Tungsten Diselenide Field-Effect Transistors via UV-Ozone Treatment
指導教授(中文):	邱博文
指導教授(外文):	Chiu, Po-Wen
口試委員(中文):	李奎毅林彥甫
口試委員(外文):	Lee, Kuei-Yi Lin, Yen-Fu
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	電子工程研究所
學號:	110063545
出版年(民國):	112
畢業學年度:	112
語文別:	中文
論文頁數:	77
中文關鍵詞:	二維材料、二硒化鎢、摻雜、接觸電阻、紫外光臭氧處理、場效電晶體
外文關鍵詞:	2D material、Tungsten Diselenide、doping、contact resistance、UV-Ozone treatment、Field-Effect Transistors
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