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作者(中文):黃怡涵
作者(外文):Huang, Yi-Han
論文名稱(中文):實現於鰭式電晶體製程之晶圓上三維電子感測器陣列
論文名稱(外文):A Study of On-Wafer 3D E-beam Detector Array by FinFET Technologies
指導教授(中文):金雅琴
指導教授(外文):King, Ya-Chin
口試委員(中文):林崇榮
施教仁
口試委員(外文):Lin, Chrong Jung
Shih, Jiaw-Ren
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:電子工程研究所
學號:110063522
出版年(民國):112
畢業學年度:111
語文別:中文
論文頁數:70
中文關鍵詞:電子束微影、電壓耦合、浮動閘極、鰭式電晶體
外文關鍵詞:E-beam Lithography、Coupled Voltage、Floating Gate、FinFET
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