運用於先進微影系統之極紫外光無線感測模組效能提升研究__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	何明翰
作者(外文):	Ho, Ming-Han
論文名稱(中文):	運用於先進微影系統之極紫外光無線感測模組效能提升研究
論文名稱(外文):	Performance Improvement Study of EUV Wireless Sensing Module for Advanced Lithography System
指導教授(中文):	金雅琴
指導教授(外文):	King, Ya-Chin
口試委員(中文):	林韋丞闕郁倫劉怡君
口試委員(外文):	Lin, Wei-Cheng Chueh, Yu-Lun Liu, Jenny Yi-Chun
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	電子工程研究所
學號:	110063518
出版年(民國):	112
畢業學年度:	111
語文別:	中文
論文頁數:	118
中文關鍵詞:	無線傳輸、靈敏度、紫外光源、晶圓上天線、半導體技術、邏輯互補式金氧半場效電晶體
外文關鍵詞:	Wireless communication、Sensitivity、Ultraviolet sources、On-chip antennas、Semiconductor technology、Logic CMOS
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