超抗震微機電石英振盪器之設計與開發__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	謝博丞
作者(外文):	Hsieh, Po-Cheng
論文名稱(中文):	超抗震微機電石英振盪器之設計與開發
論文名稱(外文):	Design and Development of Low Acceleration Sensitivity Quartz MEMS Oscillator
指導教授(中文):	李昇憲
指導教授(外文):	Li, Sheng-Shian
口試委員(中文):	楊建成李銘晃方維倫
口試委員(外文):	Yang, Chien-Cheng Li, Ming-Huang Fang, Wei-leun
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	奈米工程與微系統研究所
學號:	110035511
出版年(民國):	112
畢業學年度:	112
語文別:	中文
論文頁數:	109
中文關鍵詞:	AT-Cut 石英共振器、摺疊彈簧結構、加速度靈敏度、皮爾斯振盪器
外文關鍵詞:	AT-Cut quartz resonator、folded spring、Pierce oscillator、acceleration sensitivity
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