設計與製造一款基於矽絕緣體光柵的緊湊型近紅外自由電子元件__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
電子全文

作者(中文):	張學之
作者(外文):	Chang, Benjamin
論文名稱(中文):	設計與製造一款基於矽絕緣體光柵的緊湊型近紅外自由電子元件
論文名稱(外文):	Design and Fabrication of a Compact Silicon-On-Insulator Grating-Based Near-Infrared Free-Electron-Laser
指導教授(中文):	王威智
指導教授(外文):	Wang, Wei-Chih
口試委員(中文):	胡日州許佳賢
口試委員(外文):	Ho, Chau Hsu, Chia-Hsien
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	奈米工程與微系統研究所
學號:	110035502
出版年(民國):	112
畢業學年度:	111
語文別:	英文
論文頁數:	102
中文關鍵詞:	自由電子激光器、近紅外輻射、絕緣體上矽、奈米光柵、電子束蝕刻、深反應離子刻蝕
外文關鍵詞:	free electron laser、near infrared radiation、silicon on insulator、nano grating、E-beam lithography、Deep Reactive Ion etching
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