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作者(中文):劉兆原
作者(外文):Liu, Chao-Yuan
論文名稱(中文):建立矽晶圓廠晶棒品質檢驗製程作業員之最佳機台操作順序
論文名稱(外文):Establishing the Best Equipment Operation Sequence for Ingot Quality Inspection Process Operators in Silicon Wafer Fabrication Plant
指導教授(中文):林東盈
桑慧敏
指導教授(外文):Lin, Dung-Ying
Song, Whey-Ming
口試委員(中文):遲銘璋
郭崇韋
口試委員(外文):CHIH, Ming-Chang
Kuo, Chung-Wei
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:工業工程與工程管理學系
學號:110034559
出版年(民國):112
畢業學年度:111
語文別:中文
論文頁數:30
中文關鍵詞:FlexSim、晶棒品質檢驗製程、操作順序、基因演算法、FlexScript、最佳化
外文關鍵詞:FlexSim、Wafer Quality Inspection Process、Operation Sequence、Genetic Algorithm、FlexScript、Optimization
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