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作者(中文):李詠宸
作者(外文):Li, Yung-Chen
論文名稱(中文):利用週期性表面結構吸收層實現CMOS-MEMS熱電式紅外線感測器之性能提升
論文名稱(外文):Periodic Surface Structures on the IR-absorber for Performance Enhancement of CMOS-MEMS Thermoelectric Infrared Sensor
指導教授(中文):方維倫
指導教授(外文):Fang, Weileun
口試委員(中文):賴梅鳳
孫志銘
口試委員(外文):Lai, Mei-Feng
Sun, Chih-Ming
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:動力機械工程學系
學號:110033597
出版年(民國):112
畢業學年度:111
語文別:中文
論文頁數:202
中文關鍵詞:熱電式紅外線感測器、CMOS-MEMS、週期性表面結構、紅外線吸收層
外文關鍵詞:Thermoelectric Infrared Sensor、CMOS-MEMS、Periodic Surface Structures、IR-absorber
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