提升感測性能之單晶整合CMOS-MEMS觸覺感測中樞__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

圖書館首頁| 網站地圖| 首頁| 本站說明| 聯絡我們| 相關資源| 台聯大論文系統| 操作說明 | English

帳號：guest(216.73.216.146) 離開系統

字體大小：

字級放大

字級縮小

預設字形

詳目顯示

第 1 筆 / 共 1 筆

第一頁

上一頁

下一頁

最後一頁

/1頁

以作者查詢圖書館館藏

、以作者查詢臺灣博碩士論文系統

、以作者查詢全國書目

論文基本資料
電子全文

作者(中文):	麥睿清
作者(外文):	Mai, Ruei-Cing
論文名稱(中文):	提升感測性能之單晶整合CMOS-MEMS觸覺感測中樞
論文名稱(外文):	Monolithic Integration of CMOS-MEMS Tactile Sensing Hub with Sensing Performance Enhancement
指導教授(中文):	方維倫
指導教授(外文):	Fang, Weileun
口試委員(中文):	葉勝凱賴梅鳳
口試委員(外文):	Yeh, Sheng-Kai Lai, Mei-Feng
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	動力機械工程學系
學號:	110033595
出版年(民國):	112
畢業學年度:	111
語文別:	中文
論文頁數:	165
中文關鍵詞:	CMOS-MEMS、觸覺感測中樞、電感式/電容式觸覺力感測器、電容式近接感測器、單晶整合、機電耦合、浮動電位
外文關鍵詞:	CMOS-MEMS、tactile sensing hub、inductive/capacitive force sensor、fringe capacitive proximity sensor、monolithic integration、mechanical coupling、floating electric potential
相關次數:	推薦:0 點閱:817 評分: 下載:0 收藏:0

(此全文20270903後開放外部瀏覽)
電子全文
摘要

推文
推薦
評分
引用網址
轉寄

第一頁

上一頁

下一頁

最後一頁

相關論文

1.	用於環境感測集成之溫濕壓力感測晶片
2.	具快速濕度反應時間之CMOS單晶整合環境感測晶片
3.	設計與實現具有氣體/溫度/濕度/壓力感測器之環境感測系統晶片
4.	實現接觸與非接觸操控之覆晶整合紅外線與力感測單晶片
5.	降低熱耦合效應於CMOS-MEMS氣體/濕度/溫度環境感測中樞
6.	單晶整合具濕度/風速/溫度感測器之環境感測中樞以實現體感溫度之量測
7.	車輛裝置用小型摩擦式過載離合器之設計
8.	利用<111>晶片製造之新型光訊衰減器
9.	解耦合微型振動陀螺儀之設計與分析
10.	微小型體聲波元件之設計與製造
11.	CMOS製程整合電熱致動與壓阻感測之元件開發
12.	光學微機電製程平台技術開發:以靜電式垂直梳狀致動器驅動之微掃描面鏡為例
13.	鼓膜測試、奈米拉伸、與奈米壓痕量測薄膜機械性質之研究與比較
14.	整合UV膠微透鏡及MUMPs元件之SOI微光學平台
15.	微無邊界樑振動特性的探討與應用

簡易查詢 | 進階查詢 | 論文瀏覽 | 熱門排行 | 管理/審核者登入