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作者(中文):楊佳翰
作者(外文):Yang, Chia-Han
論文名稱(中文):應用雙光子微影技術於晶圓級邊緣耦光模組之製造方法設計與開發
論文名稱(外文):Fabrication Process Design and Development of Wafer-Level Edge-Coupled Probing Module with Two-Photon Lithography
指導教授(中文):傅建中
指導教授(外文):Fu, Chien-Chung
口試委員(中文):李三良
鄭正元
口試委員(外文):Lee, San-Liang
Jeng, Jeng-Ywan
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:動力機械工程學系
學號:110033574
出版年(民國):113
畢業學年度:112
語文別:中文
論文頁數:74
中文關鍵詞:矽光子、晶圓級邊緣耦光、雙光子微影、夾治具設計、纖芯照明定位
外文關鍵詞:Silicon Photonic、Wafer-level Edge Coupling、Two-Photon Lithography、Fixture Design、Fiber Core Illumination and Positioning
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