針對寬度伸縮模態壓電共振器與振盪器在氣相與液相之研究探討與實現__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	林緯
作者(外文):	Lin, Wei
論文名稱(中文):	針對寬度伸縮模態壓電共振器與振盪器在氣相與液相之研究探討與實現
論文名稱(外文):	Investigation and Realization of Width-Extensional Mode Piezoelectric MEMS Resonator and Oscillator in Air and Liquid
指導教授(中文):	李昇憲
指導教授(外文):	Li, Sheng-Shian
口試委員(中文):	馮國華邱一
口試委員(外文):	Feng, Guo-Hua Chiu, Yi
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	動力機械工程學系
學號:	110033525
出版年(民國):	112
畢業學年度:	111
語文別:	中文
論文頁數:	119
中文關鍵詞:	微機電系統、壓電式共振器及振盪器、寬度伸縮模態、品質因子、動態阻抗、錨損耗、液相電性訊號量測
外文關鍵詞:	MEMS、Piezoelectric Resonators & Oscillators、Width-Extensional Mode、Quality Factor、Anchor Loss、Motional Resistance、Electrical Measurement Under Liquid
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