週期與成分比例對 TiN/AlSiN 多層膜之附著性及抗氧化性探討__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
電子全文

作者(中文):	李沛恩
作者(外文):	Lee, Pei-En
論文名稱(中文):	週期與成分比例對 TiN/AlSiN 多層膜之附著性及抗氧化性探討
論文名稱(外文):	Study on the adhesion and oxidation resistance of TiN/AlSiN multilayer thin film
指導教授(中文):	葉均蔚蔡哲瑋
指導教授(外文):	Yeh, Jien-Wei Tsai, Che-Wei
口試委員(中文):	陳士勛杜正恭
口試委員(外文):	Chen, Shih-Hsun Duh, Jenq-Gong
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	材料科學工程學系
學號:	110031635
出版年(民國):	112
畢業學年度:	111
語文別:	中文
論文頁數:	89
中文關鍵詞:	多層膜、抗氧化性、機械性質
外文關鍵詞:	multilayers、oxidation resistance、mechanical properties
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