超材料完美吸收體整合CMOS MEMS熱電式感測器用於無濾波片非色散性紅外光氣體感測__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
電子全文

作者(中文):	林祐安
作者(外文):	Lin, You-An
論文名稱(中文):	超材料完美吸收體整合CMOS MEMS熱電式感測器用於無濾波片非色散性紅外光氣體感測
論文名稱(外文):	Integration of Metamaterial Perfect Absorber with CMOS-MEMS Thermoelectric Sensor for Filter-less Non-dispersive Infrared Gas Sensing
指導教授(中文):	嚴大任
指導教授(外文):	Yen, Ta-Jen
口試委員(中文):	方維倫陳哲勤
口試委員(外文):	Fang, Wei-Leun Chen, Che-Ching
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	材料科學工程學系
學號:	110031618
出版年(民國):	112
畢業學年度:	112
語文別:	英文
論文頁數:	87
中文關鍵詞:	超材料、完美吸收體、半導體製程、微機電、熱電式感測器、無濾波片、氣體感測、非分散性紅外線感測、三明治結構
外文關鍵詞:	Metamaterial、Perfect absorber、CMOS、MEMS、Thermoelectric sensor、Filter-less、Gas sensing、Non-dispersive Infrared sensing、MIM sandwich structure
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