反應式直流磁控濺鍍AlCrSiTiCu抗菌高熵彩色薄膜之研究__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
電子全文

作者(中文):	葉敏莉
作者(外文):	Yap, Min-Li
論文名稱(中文):	反應式直流磁控濺鍍AlCrSiTiCu抗菌高熵彩色薄膜之研究
論文名稱(外文):	A Study on AlCrSiTiCu Antibacterial High-Entropy Colorful Coatings by DC Reactive Magnetron Sputtering
指導教授(中文):	葉均蔚
指導教授(外文):	YEH, JIEN-WEI
口試委員(中文):	林樹均洪健龍曹春暉
口試委員(外文):	LIN, SU-JIEN HORNG, JIAN-LONG TSAU, CHUN-HUEI
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	材料科學工程學系
學號:	110031402
出版年(民國):	113
畢業學年度:	112
語文別:	中文
論文頁數:	135
中文關鍵詞:	高熵薄膜、抗菌薄膜、彩色薄膜、反應式直流磁控濺鍍、鋁、鉻、矽、鈦、銅、氮化膜、氧化膜
外文關鍵詞:	High-Entropy、Films、Antibacterial、Coatings、Colorful、AlCrSiTiCu、DC、Reactive、Magnetron、Sputtering、Oxide、Nitride
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