單晶整合具濕度/風速/溫度感測器之環境感測中樞以實現體感溫度之量測__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	黎昱萱
作者(外文):	Li, Yu-Hsuan
論文名稱(中文):	單晶整合具濕度/風速/溫度感測器之環境感測中樞以實現體感溫度之量測
論文名稱(外文):	Monolithic Integration of Humidity/Flow/Temperature Sensors as Environment Sensing Hub for Apparent-temperature Detection
指導教授(中文):	方維倫盧向成
指導教授(外文):	Fang, Weileun Lu, Michael S.-C.
口試委員(中文):	邱一蘇旺申
口試委員(外文):	Chiu, Yi Su, Wang-Shen
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	奈米工程與微系統研究所
學號:	110030511
出版年(民國):	112
畢業學年度:	111
語文別:	中文
論文頁數:	126
中文關鍵詞:	CMOS-MEMS、環境感測器、單晶整合、電容式濕度感測器、微型加熱器、熱線式風速感測器、二極體溫度感測器
外文關鍵詞:	CMOS-MEMS、environment sensing hub、monolithic integration、capacitive humidity sensor、thermoresistive flow sensor、diode based temperature sensor
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