以移動式窗格決策型虛擬量測架構優化在量測延遲下先進製程控制之實證研究__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	蕭怡禎
作者(外文):	Hsiao, Yi-Chen
論文名稱(中文):	以移動式窗格決策型虛擬量測架構優化在量測延遲下先進製程控制之實證研究
論文名稱(外文):	Moving Window Decision-based Virtual Metrology Framework for Optimizing Advanced Process Control in Metrology Delay and an Empirical Study
指導教授(中文):	簡禎富
指導教授(外文):	Chien, Chen-Fu
口試委員(中文):	陳暎仁曾勝滄
口試委員(外文):	Chen, Ying-Jen TSENG, Sheng-Tsiang
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	工業工程與工程管理學系
學號:	110030510
出版年(民國):	112
畢業學年度:	111
語文別:	英文
論文頁數:	39
中文關鍵詞:	虛擬量測、先進製程控制、半導體製造、數位決策
外文關鍵詞:	Virtual metrology (VM)、Advanced process control (APC)、Semiconductor manufacturing、Digital decision
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