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作者(中文):陳怡釗
作者(外文):Chen, Yi-Chao
論文名稱(中文):開發鉿金屬團簇與混合材料並應用於電子束微影與極紫外光微影
論文名稱(外文):Development of Hafnium Clusters and Blending Materials Apply to Electron Beam and Extreme Ultraviolet Lithography
指導教授(中文):劉瑞雄
指導教授(外文):Liu, Rai-Shung
口試委員(中文):高蔡勝
林俊宏
口試委員(外文):Kao, Tsai-Sheng
Lin, Chun-Hung
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:化學系
學號:110023535
出版年(民國):112
畢業學年度:111
語文別:中文
論文頁數:182
中文關鍵詞:鉿金屬團簇混合材料電子束微影極紫外光微影
外文關鍵詞:Hafnium ClustersBlending MaterialsElectron BeamExtreme Ultraviolet Lithography
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