整合於鰭式電晶體閘極電阻之電阻式記憶體製程研究__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	徐培修
作者(外文):	Hsu, Pei-Hsiu
論文名稱(中文):	整合於鰭式電晶體閘極電阻之電阻式記憶體製程研究
論文名稱(外文):	Process Study of RRAM Integrated with Gate Resistance of FinFET
指導教授(中文):	張廖貴術
指導教授(外文):	Chang-Liao, Kuei-Shu
口試委員(中文):	羅廣禮朱俊霖
口試委員(外文):	Luo, Guang-Li Chu, Chun-Lin
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	工程與系統科學系
學號:	110011568
出版年(民國):	113
畢業學年度:	112
語文別:	中文
論文頁數:	78
中文關鍵詞:	電阻式記憶體、鰭式場效應電晶體
外文關鍵詞:	RRAM、FinFET
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