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論文基本資料
電子全文
作者(中文):
劉書毓
作者(外文):
Liu, Shu-Yu
論文名稱(中文):
遠程電感式耦合氫氣電漿源放電流體模型數值模擬分析研究
論文名稱(外文):
Fluid Model Numerical Simulation Study of Remote Inductively Coupled Hydrogen Plasma Discharges
指導教授(中文):
柳克強
指導教授(外文):
Leou, Keh-Chyang
口試委員(中文):
張家豪
李志浩
口試委員(外文):
Chang, Chia-Hao
Lee, Chih-Hao
學位類別:
碩士
校院名稱:
國立清華大學
系所名稱:
工程與系統科學系
學號:
110011557
出版年(民國):
112
畢業學年度:
112
語文別:
中文
論文頁數:
187
中文關鍵詞:
遠程電感式耦合氫氣電漿源
、
氫氣電漿
、
數值模擬
、
遠程電感式耦合電漿源
、
電漿
、
二維軸對稱流體模型
、
蝕刻製程
、
表面清潔
外文關鍵詞:
Inductively coupled plasma source
、
Hydrogen on plasma
、
2D axisymmetric fluid model
、
Etching process
、
Surface cleaning
、
Plasma
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