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作者(中文):劉得新
作者(外文):Liu, Te-Hsin
論文名稱(中文):氮流量對氮化鉬鍍層之高溫磨潤性及氧化行為影響研究
論文名稱(外文):Effect of Nitrogen Flow Rate on Elevated Temperature Tribological Properties and Oxidation Behavior of Molybdenum Nitride Coatings
指導教授(中文):黃嘉宏
指導教授(外文):Huang, Jia-Hong
口試委員(中文):張銀祐
林郁洧
口試委員(外文):Chang, Yin-Yu
Lin, Yu-Wei
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:工程與系統科學系
學號:110011508
出版年(民國):112
畢業學年度:111
語文別:英文
論文頁數:70
中文關鍵詞:氮化鉬鍍層氮流量高功率脈衝磁控濺鍍高溫磨潤性氧化行為
外文關鍵詞:Molybdenum nitride coatingNitrogen flow rateHPPMSElevated temperature tribological propertiesOxidation behavior
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