以液態氮快速冷卻法改善 HfZrOx 鐵電電容之鐵電特性__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	李凱旋
作者(外文):	Lee, Kai-Sheun
論文名稱(中文):	以液態氮快速冷卻法改善 HfZrOx 鐵電電容之鐵電特性
論文名稱(外文):	Improving Ferroelectric Characteristics for HfZrOx -based Ferroelectric Capacitor By Liquid Nitrogen (LN2) Quenching
指導教授(中文):	巫勇賢
指導教授(外文):	Wu, Yung-Hsien
口試委員(中文):	李耀仁吳永俊
口試委員(外文):	Lee, Yao-Jen Wu, Yung-Chun
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	工程與系統科學系
學號:	110011402
出版年(民國):	112
畢業學年度:	111
語文別:	中文
論文頁數:	52
中文關鍵詞:	鐵電電容、氧化鉿新鐵電材料、鐵電記憶體
外文關鍵詞:	FeRAM、HfxZr1-xO2、Ferroelectric Memory
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