水資源對應在台灣特殊貢獻的護國神山--半導體產業，產生了極大的影響及
隱患，在2020 年全年沒有颱風的情況下，全台灣水情吃緊，2021 年5 月，水庫
見底，蓄水量掉到個位數，園區開始進行限水，限水已要求各公司施行17%用水，
在五月底更公告將執行供五停二，等於限水28%，對所有半導體產業產生極大的
影響，各家公司在此之前已紛紛調派水車進行載水以滿足生產需求及政策目標，
有鑑於此，本研究以園區某光罩廠為研究對象，針對該個案用水現況進行分析了
解，收集個案用水結構及技術、設施介紹、現有用水系統分布及管理做法，既有
回收水狀況分析，本研究於瞭解上述現況後，將進行效能，提昇回收率及減少成
本，提高環境品質、並達到永續發展的目標。
本研究首先針對台灣半導體產業之水資源概況進行介紹說明及半導體廠內
的各用水流程、單元介紹、製程用水特性、用水管理狀況等，以現有個案進行評
估回收的可能性進行改善建議。預期改善結果將朝向依園區最新節約用水，將全
廠回收率>70％，排放率<70％之目標前進。成本方面，自來水用水量每天可減
少15噸，自來水費用可降低5,625元/月，廢水處理費用可降低10,645元/月，藥劑
處理費用可減少。本研究可提供個案工廠作為未來執行新建工廠建設基準及用水
回收企業社會責任政策之參考。

Water resources correspond to the sacred mountain of Taiwan’s special
contribution to the protection of the country-the semiconductor industry, which has
caused a great impact and hidden dangers. With the absence of typhoons in 2020, the
water supplementation in Taiwan is tight. In May 2021, the reservoir bottomed out.
The water storage volume fell to single digits, and the science park began to restrict
water. The water restriction has required all companies to reduce 17% of water use.
At the end of May, the governments announced that it would implement a stop water
policy, which is equivalent to 28% water reduction, which has a huge impact on all
semiconductor industries. Before this, various companies have dispatched water
trucks to carry water to meet the production needs and policy restriction. In view of
this, this research takes a mask factory in the science park as the research object,
analyzes and understands the current situation of water use in this case, and collects
the water use structure and technology of the case, the introduction of facilities, the
distribution of existing water systems and management practices, and the analysis of
existing water recovery conditions. After understanding the above-mentioned current
situation, this research will carry out efficiency, increase recycling rate and reduce
cost, improve environmental quality, and achieve the goal of sustainable
development.
This research first introduces the water resources of Taiwan’s semiconductor
industry, as well as the various water flow, process introduction, process water
characteristics, water management status, etc. in the semiconductor factory. The
existing cases are used to evaluate the possibility of recycling and make suggestions
for improvement. It is expected that the improvement results will tend to follow the
implementation of the key points of the Water Conservation Counseling Program of
III
the Science Park, with the latest water conservation targets, which include a
plant-wide recovery rate of greater than 70% and a discharge rate of less than 70%. In
terms of costs, tap water consumption can be reduced by 15 tons per day, tap water
costs can be reduced by 5,625 NTD per month, waste water treatment costs can be
reduced by 10,645 NTD per month, and chemical treatment costs can be reduced
significantly. This study can provide individual factories as a reference for future
implementation of new factory construction benchmarks and water recycling
corporate social responsibility policies.

摘要 ............................................................................................................................... I
Abstract ......................................................................................................................... II
致謝 .............................................................................................................................IV
目錄 .............................................................................................................................. V
表目錄 .........................................................................................................................IX
圖目錄 ....................................................................................................................... VII
第一章 概論 ............................................................................................................... 10
1-1 研究背景與動機 .......................................................................................... 10
1-2 研究問題與目的 .......................................................................................... 11
1-3 研究方法 ...................................................................................................... 12
1-4 資料來源 ...................................................................................................... 12
1-5 研究流程 ...................................................................................................... 13
第二章 文獻回顧 ..................................................................................................... 14
2-1.循環經濟(circular economy)與水資源的關係 ............................................. 14
2-2.何謂3R? ........................................................................................................ 18
2-3 管理評估指標 ............................................................................................... 27
2-4 光罩介紹 ...................................................................................................... 34
第三章 新竹半導體產業之水資源概況 ................................................................... 36
3-1 新竹半導體產業之水源狀況及需求介紹 .................................................. 36
3-1-1 新竹區域用水需求計算推估 ........................................................... 37
3-2 介紹工業用水 .............................................................................................. 39
3-2-1 水資源環境現況 ............................................................................... 39
3-2-2 工業用水利用 ................................................................................... 41
第四章 個案廠房用水系統 ..................................................................................... 44
4-1 個案公司介紹 .......................................................................................... 44
一、業務概況 ............................................................................................. 45
二、循環經濟做為 ..................................................................................... 48
4-2 個案超純水系統流程及各單元介紹 ......................................................... 50
4-2-1 純水系統流程及各重要單元 ........................................................... 51
4-2-2 廠房水平衡圖 ................................................................................... 53
4-3 製程回收水系統現況 .................................................................................. 55
4-3-1 目前回收水來源種類: ...................................................................... 55
4-4 個案對水資源缺乏所作之管理行動 .......................................................... 58
4-4-1 業界現有水系統管理方式 ............................................................... 58
4-4-2 用水管理: ........................................................................................... 59
4-4-3 用水減量: ........................................................................................... 64
4-5 個案符合新回收率的機會在哪裡 ............................................................... 64
第五章結論與研究建議 ............................................................................................. 84
5-1 研究結論 ....................................................................................................... 84
第六章 參考文獻 ....................................................................................................... 86

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