極紫外光橢偏儀折射率量測__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	李逸亭
作者(外文):	Lee, Yi-Ting
論文名稱(中文):	極紫外光橢偏儀折射率量測
論文名稱(外文):	Refractive index measurement by EUV polarimeter
指導教授(中文):	陳明彰
指導教授(外文):	Chen, Ming-Chang
口試委員(中文):	郭倩丞顧逸霞
口試委員(外文):	Kuo, Chieng-Cheng Ku, Yi-Sha
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	光電工程研究所
學號:	109066547
出版年(民國):	112
畢業學年度:	111
語文別:	英文
論文頁數:	59
中文關鍵詞:	極紫外光、橢偏移、折射率、偏振
外文關鍵詞:	EUV、refractive index、spectroscopic ellipsometry、polarimeter、polarization
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