高效率氮化矽-矽波導模態轉換器應用於積體化1030 nm波長光偵測器__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	蘇棟弘
作者(外文):	Su, Tung-Hung
論文名稱(中文):	高效率氮化矽-矽波導模態轉換器應用於積體化1030 nm波長光偵測器
論文名稱(外文):	High Efficiency 𝑺𝒊𝟑𝑵𝟒−𝑺𝒊 Waveguide Mode Converter Applied to Integrated 1030 nm Wavelength Photodetector
指導教授(中文):	李明昌
指導教授(外文):	Lee, Ming-Chang
口試委員(中文):	王立康徐韶徽
口試委員(外文):	Wang, Li-Karn Hsu, Shao-Hui
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	光電工程研究所
學號:	109066529
出版年(民國):	112
畢業學年度:	111
語文別:	中文
論文頁數:	69
中文關鍵詞:	矽光子、矽光偵測器、氮化矽-矽、模態轉換器
外文關鍵詞:	silicon photonics、silicon photodetector、PIN photodetector、Si3N4 to Si、mode converter
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