透過熱解膠帶/PMMA雙支撐層實現三功能性乾式轉移應用於二硫化鉬電晶體元件之研究__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	吳邦愷
作者(外文):	Wu, Bang-Kai
論文名稱(中文):	透過熱解膠帶/PMMA雙支撐層實現三功能性乾式轉移應用於二硫化鉬電晶體元件之研究
論文名稱(外文):	Trifunctional Dry Transfer Method via Thermal Release Tape/PMMA Bi-Supporting Layer for Molybdenum Disulfide-Based Transistor
指導教授(中文):	金雅琴闕郁倫
指導教授(外文):	King, Ya-Chin Chueh, Yu-Lun
口試委員(中文):	林時彥謝光宇
口試委員(外文):	Lin, Shih-Yen Hsieh, Kuang-Yen
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	電子工程研究所
學號:	109063536
出版年(民國):	112
畢業學年度:	111
語文別:	英文
論文頁數:	70
中文關鍵詞:	大面積轉移、凡德瓦接觸、通道區域選擇性轉移
外文關鍵詞:	large-scale transfer、vdW contact、channel region selective transfer
相關次數:	推薦:0 點閱:680 評分: 下載:0 收藏:0

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