16奈米邏輯製程之耦合浮動閘極三維感測電子束陣列__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	邱冠中
作者(外文):	Chiu, Kuan-Chung
論文名稱(中文):	16奈米邏輯製程之耦合浮動閘極三維感測電子束陣列
論文名稱(外文):	On-Wafer 3D E-beam Detector Cube by CMOS FinFET Technologies
指導教授(中文):	金雅琴
指導教授(外文):	King, Ya-Chin
口試委員(中文):	林崇榮施教仁
口試委員(外文):	Lin, Chrong-Jung Shih, Jiaw-Ren
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	電子工程研究所
學號:	109063514
出版年(民國):	111
畢業學年度:	111
語文別:	中文
論文頁數:	70
中文關鍵詞:	電子束、感測器、浮動閘極、邏輯製程
外文關鍵詞:	e-beam、detector、floating-gate、CMOS、FinFET
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