基於深度卷積神經網路方法下利用注意力機制及資料增強進行晶圓圖缺陷圖案不均衡分類__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	林佳威
作者(外文):	Lin, Jia-Wei
論文名稱(中文):	基於深度卷積神經網路方法下利用注意力機制及資料增強進行晶圓圖缺陷圖案不均衡分類
論文名稱(外文):	Wafer Map Defect Pattern Imbalanced Classification Using Attention Mechanism and Data Augmentation Based on Deep Convolutional Neural Network
指導教授(中文):	鐘太郎
指導教授(外文):	Jong, Tai-Lang
口試委員(中文):	黃裕煒謝奇文
口試委員(外文):	Huang, Yu-Wei Hsieh, Chi-Wen
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	電機工程學系
學號:	109061640
出版年(民國):	111
畢業學年度:	110
語文別:	中文
論文頁數:	58
中文關鍵詞:	晶圓圖缺陷圖案分類、深度卷積神經網路、資料不均衡、資料增強、注意力機制
外文關鍵詞:	wafer map defect pattern classification、deep convolutional neural network、data imbalance、data augmentation、attention mechanism
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