如今建造一座十二吋晶圓廠引用DIGITIMES Research資料「蓋一座晶圓廠需要花費多少」資料預估需花費超過100億美金以上，隨著製程的演進會越來越貴。可以想像，裡面的每台半導體設備造價不菲，且未來晶圓廠預估購買的半導體設備支出花費也越來越高，怎麼開源節流，增加企業獲利，以製造生產的角度每一台機台都期許可以使機台的產能滿載，才更容易讓所付出的資本支出的投資更快速的獲利回來。
透過精實思考以及等候理論來評估當不同的機台速率上不同的晶圓暫存區且在不同製程種類下所帶來的生產效益為何。本文歸納幾項建議，以全自動化工廠的支出與花費比較後建議由於自動搬運倉儲系統 (Stocker)為基礎轉運設備，應納入建廠成本考量之中。Over head buffer (OHB)所需花費僅占整個半導體支出成本極低，但所帶來的傳送效益降幅極大，根據本研究測試數據，建議工廠建廠普遍安裝。Near tool buffer (NTB)則須評估該機台所帶來的價值是否大於額外多購買一座專屬該機台前方暫存區。

According to DIGITIMES Research, building a 12-inch fab now costs more than US$10 billion. The building cost will become more and more expensive as the manufacturing process evolves. Semiconductor equipment accounts for a large portion of cost in building a factory. How to save cost and make payback faster becomes a critical issue in the competitive market.
This study aims to valuate the production benefits brought by different wafer buffers under different process types through lean thinking and queueing theory. Through numerical experiment based on queuing theory and simulation,we suggest that, because the stocker is the basic transfer equipment, it should firstly be included in the consideration of the construction cost of the factory. The cost of over head buffer (OHB) only accounts for a very low cost of the entire semiconductor expenditure, but the transmission costs brought by it are greatly reduced. Lastly, when installing Near tool buffer (NTB), the value it brought should be carefully calculated before setting an additional storage area in front of the machine.

摘要 I
ABSTRACT II
誌謝 III
目錄 IV
圖目錄 VI
表目錄 VII
名詞解釋 VIII
第一章 緒論 1
1-1 研究動機與目的 1
1-2 研究步驟 3
第二章 文獻回顧 5
2-1 常用的生產模式 5
2-1-1 精實生產 5
2-1-2 推式與拉式生產 6
2-2 等候理論 8
2-2-1 等候理論介紹 8
2-2-2 等候系統與指標 9
2-2-3 等候模型M/M/c/K 11
2-3 模擬介紹 14
2-3-1 模擬的目的 14
2-3-2 Lingo 軟體介紹 15
2-3-3 MATLAB Simulink軟體介紹 16
2-4 AMHS相關文獻研究與回顧 17
2-5文獻回顧小節 19
第三章 研究方法 20
3-1 研究說明 20
3-2 半導體生產簡介 20
3-2-1 半導體生產線環境 20
3-2-2 AMHS軌道系統介紹 21
3-2-3 AMHS晶圓暫存系統介紹 22
3-2-4 半導體工廠自動化傳送派工系統 24
3-2-5 晶圓暫存區自動化拉動式生產時間差異 27
3-2-6 運用精實思維消除浪費 28
3-3 研究限制 29
3-4 研究方法 30
3-4-1 Lingo求解等候模型 30
3-4-2 Matlab模擬驗證 32
第四章 模型資料與分析 35
4-1 Lingo與Matlab資料比對 35
4-2 實驗研究資料內容 36
4-3 實驗資料分析 43
4-3-1 製程成熟度及WPH對於機台使用率的影響分析 43
4-3-2 Load Port數量對於機台使用率的影響分析 44
4-3-3 晶圓暫存區對機台使用率的影響分析 45
4-3-4 連續站點下分析 48
4-4 暫存區種類利弊分析與建議 49
第五章 結論 51
5-1 研究成果 51
5-2 未來研究建議 52
參考文獻 53
英文文獻 53
中文文獻 54
網路資源 55

英文文獻
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網路資源
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