可壓縮式亥姆霍茲聲學共振腔體之揚聲器與接收器研發與應用__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	黃仲豪
作者(外文):	Huang, Chung-Hao
論文名稱(中文):	可壓縮式亥姆霍茲聲學共振腔體之揚聲器與接收器研發與應用
論文名稱(外文):	Development of ultrasonic speaker and receiver with compressible Helmholtz resonating chamber for contactless switch application
指導教授(中文):	馮國華
指導教授(外文):	Feng, Guo-Hua
口試委員(中文):	張禎元王玉麟鄭榮偉
口試委員(外文):	Chang, Jen-Yuan Wang, Yu-Lin Cheng, Jung-Wei
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	動力機械工程學系
學號:	109033617
出版年(民國):	111
畢業學年度:	110
語文別:	中文
論文頁數:	106
中文關鍵詞:	微機械設備、壓電薄膜、超聲波換能器、亥姆霍茲共振器
外文關鍵詞:	piezoelectric、Helmholtz resonator、PZT、PMUT、paylene
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