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作者(中文):錢東林
作者(外文):Chien, Tung-Lin
論文名稱(中文):設計與實現具有氣體/溫度/濕度/壓力感測器之環境感測系統晶片
論文名稱(外文):Design and Implementation of SoC Environmental Sensing Hub with Gas/Temperature/Humidity/Pressure Sensors
指導教授(中文):方維倫
指導教授(外文):Fang, Wei-Leun
口試委員(中文):蘇旺申
李昇憲
口試委員(外文):Su, Wang-Shen
Li, Sheng-Shian
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:動力機械工程學系
學號:109033585
出版年(民國):111
畢業學年度:110
語文別:中文
論文頁數:155
中文關鍵詞:環境感測器單晶整合垂直整合金屬氧化物半導體式氣體感測器電容式壓力感測器空氣電容式濕度感測器
外文關鍵詞:CMOS-MEMSEnvironmental sensing hubMonolithic integrationVertical integrationMOS gas sensorCapacitive pressure sensorCapacitive humidity sensorDiode thermometer
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