二維材料極紫外光輻照效應研究__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	高曼云
作者(外文):	Kao, Man-Yun
論文名稱(中文):	二維材料極紫外光輻照效應研究
論文名稱(外文):	Extreme Ultraviolet Radiation Effect On Transition Metal Dichalcogenides: Physical And Electrical Properties
指導教授(中文):	闕郁倫
指導教授(外文):	Chueh, Yu-Lun
口試委員(中文):	金雅琴吳品鈞邱雅萍
口試委員(外文):	King, Ya-Chin Wu, Pin-Jiun Chiu, Ya-Ping
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	材料科學工程學系
學號:	109031706
出版年(民國):	112
畢業學年度:	111
語文別:	中文
論文頁數:	96
中文關鍵詞:	二維材料、極紫外光、極紫外光微影、同步輻射、過渡金屬二硫族化物
外文關鍵詞:	Extreme ultraviolet lithography、Extreme ultraviolet (EUV)、Transition metal dichalcogenides、2-dimensional materials、Synchrotron radiation
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