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作者(中文):黃煜騰
作者(外文):Huang, Yu-Teng
論文名稱(中文):超平整參雜型二氧化鉿之原子層沉積與異質整合
論文名稱(外文):Ultraflat Doped HfO2 by Atomic Layer Deposition and Heterogeneous Integration
指導教授(中文):李奕賢
指導教授(外文):Lee, Yi-Hsien
口試委員(中文):張哲豪
楊智超
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:材料科學工程學系
學號:109031511
出版年(民國):111
畢業學年度:110
語文別:中文
論文頁數:86
中文關鍵詞:新穎鐵電材料參雜型二氧化鉿超平整介面二維材料異質整合放光調控
外文關鍵詞:Novel ferroelectric materialsdoped-HfO2ultraflat surfaceheterostructureTMDs
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