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論文基本資料
電子全文
作者(中文):
黃煜騰
作者(外文):
Huang, Yu-Teng
論文名稱(中文):
超平整參雜型二氧化鉿之原子層沉積與異質整合
論文名稱(外文):
Ultraflat Doped HfO2 by Atomic Layer Deposition and Heterogeneous Integration
指導教授(中文):
李奕賢
指導教授(外文):
Lee, Yi-Hsien
口試委員(中文):
張哲豪
楊智超
學位類別:
碩士
校院名稱:
國立清華大學
系所名稱:
材料科學工程學系
學號:
109031511
出版年(民國):
111
畢業學年度:
110
語文別:
中文
論文頁數:
86
中文關鍵詞:
新穎鐵電材料
、
參雜型二氧化鉿
、
超平整介面
、
二維材料
、
異質整合
、
放光調控
外文關鍵詞:
Novel ferroelectric materials
、
doped-HfO2
、
ultraflat surface
、
heterostructure
、
TMDs
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