開發金屬團簇與混合材料並應用於電子束微影與極紫外光微影__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	廖品嘉
作者(外文):	Liao, Pin-Chia
論文名稱(中文):	開發金屬團簇與混合材料並應用於電子束微影與極紫外光微影
論文名稱(外文):	Development of Various Metal Clusters and Blending Materials Apply to Electron Beam and Extreme Ultraviolet Lithography
指導教授(中文):	劉瑞雄
指導教授(外文):	Liu, Rai-Shung
口試委員(中文):	高蔡勝邱博文林俊宏
口試委員(外文):	Kao, Tsai-Sheng Chiu, Po-Wen Lin, Chun-Hung
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	化學系
學號:	109023532
出版年(民國):	111
畢業學年度:	110
語文別:	中文
論文頁數:	219
中文關鍵詞:	減酸根之十二鋯團簇、減酸根之六鉿團簇、電子束微影、極紫外光干涉曝光
外文關鍵詞:	OM、AFM、E-beam、EUV
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