利用電漿輔助分子束磊晶成長氮化鋁鈦超薄膜之研究__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	溫盛凱
作者(外文):	Wen, Sheng-Kai
論文名稱(中文):	利用電漿輔助分子束磊晶成長氮化鋁鈦超薄膜之研究
論文名稱(外文):	Study of epitaxial growth of TixAl1-xN film by plasma assisted molecular beam epitaxy
指導教授(中文):	果尚志
指導教授(外文):	Gwo, Shangjr
口試委員(中文):	陳溪新安惠榮
口試委員(外文):	Chen, David Ahn, Hyeyoung
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	物理學系
學號:	109022534
出版年(民國):	112
畢業學年度:	111
語文別:	中文
論文頁數:	83
中文關鍵詞:	氮化鋁鈦、電漿輔助分子束磊晶、超薄膜、介電函數
外文關鍵詞:	Titanium Aluminum nitride、plasma-assisted molecular beam epitaxy (PA-MBE)、ultra-thin film、dielectric function
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