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作者(中文):李柏儒
作者(外文):Li, Bo-Ru
論文名稱(中文):高品質氮化鈦磊晶薄膜製作之超導奈米線單光子探測器及其特性分析
論文名稱(外文):Fabrication and Characterization of Superconducting Nanowire Single Photon Detectors Using High-Quality TiN Epitaxial Films
指導教授(中文):果尚志
指導教授(外文):Gwo, Shang-Jr
口試委員(中文):安惠榮
陳溪新
口試委員(外文):Ahn, Hye-Young
Chen, Si-Sin
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:物理學系
學號:109022526
出版年(民國):112
畢業學年度:111
語文別:中文
論文頁數:76
中文關鍵詞:超導體超導奈米線單光子探測器電漿輔助分子束磊晶單晶氮化鈦電子束微影
外文關鍵詞:SuperconductorSuperconducting nanowire single-photon detectorsPlasma-assisted molecular beam epitaxySingle crystal titanium nitrideElectron beam lithography
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