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作者(中文):胡家瑋
作者(外文):Hu, Chia-Wei
論文名稱(中文):以積層結構改善極化值和喚醒效應之氧化鉿鋯鐵電電容
論文名稱(外文):Improving Polarization and Wake-up Effect for HfZrOx -based Ferroelectric Capacitor by Lamination
指導教授(中文):巫勇賢
指導教授(外文):Wu, Yung-Hsien
口試委員(中文):吳永俊
蘇俊榮
口試委員(外文):Wu, Yung-Chun
Su, Jyun-Rong
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:工程與系統科學系
學號:109011575
出版年(民國):111
畢業學年度:110
語文別:中文
論文頁數:61
中文關鍵詞:積層結構鐵電電容改善極化值改善喚醒效應四層儲存單元氧化鉿鋯
外文關鍵詞:LaminationFerroelectric CapacitorImproving PolarizationImproving Wake-up EffectQuad-level cellHfZrOx
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