以低溫氧化鍺縮合對矽鍺鰭式場效電晶體之電特性研究__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	管庭愷
作者(外文):	Kuan, Ting-Kai
論文名稱(中文):	以低溫氧化鍺縮合對矽鍺鰭式場效電晶體之電特性研究
論文名稱(外文):	Ge Condensation by low Temperature Oxidation on Electrical Characteristics of SiGe FinFET
指導教授(中文):	張廖貴術
指導教授(外文):	Chang-Liao, Kuei-Shu
口試委員(中文):	羅廣禮趙天生
口試委員(外文):	Luo, Guang-Li Chao, Tien-Sheng
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	工程與系統科學系
學號:	109011573
出版年(民國):	113
畢業學年度:	112
語文別:	中文
論文頁數:	103
中文關鍵詞:	鍺縮合製程、矽鍺鰭式場效電晶體、輻射效應
外文關鍵詞:	Ge condensation process、SiGe FinFET、Radiation effect
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