鍍膜能量與氧流量變化對於氮氧化鋯薄膜鍍著於鎳基超合金Haynes 282磨潤性影響之研究__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	李唯綸
作者(外文):	Lee, Wei-Lun
論文名稱(中文):	鍍膜能量與氧流量變化對於氮氧化鋯薄膜鍍著於鎳基超合金Haynes 282磨潤性影響之研究
論文名稱(外文):	Study on the Effect of Coating Energy and Oxygen Flow Rate Variation on the Tribological Behavior of ZrNxOy Thin Films Coated With Nickel-based Superalloy Haynes 282
指導教授(中文):	藍貫哲黃嘉宏
指導教授(外文):	Lan, Kuan-Che Huang, Jia-Hong
口試委員(中文):	呂福興歐陽汎怡
口試委員(外文):	Lu, Fu-Hsing Ouyang, Fan-Yi
學位類別:	碩士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	工程與系統科學系
學號:	109011514
出版年(民國):	111
畢業學年度:	110
語文別:	中文
論文頁數:	86
中文關鍵詞:	磨潤性、氮氧化鋯薄膜、鎳基超合金、中空陰極離子鍍、氧流量、鍍膜能量
外文關鍵詞:	Tribological Behavior、ZrNxOy Thin Films、Nickel-based Superalloy、Hollow cathode ion plating、Oxygen flow rate、Coating energy
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