實現於先進鰭式電晶體技術之晶圓上極紫外光微感測器陣列__國立清華大學博碩士論文全文影像系統

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論文基本資料
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作者(中文):	王建評
作者(外文):	Wang, Chien-Ping
論文名稱(中文):	實現於先進鰭式電晶體技術之晶圓上極紫外光微感測器陣列
論文名稱(外文):	A Study of On-Wafer Micro-Detectors Array for in-situ EUV Detection by FinFET Technologies
指導教授(中文):	金雅琴
指導教授(外文):	King, Ya-Chin
口試委員(中文):	林崇榮池育德吳品鈞侯拓宏
口試委員(外文):	Lin, Chrong Jung Chih, Yue-Der Wu, Pin-Jiun Hou, Tuo-Hung
學位類別:	博士
校院名稱:	國立清華大學
系所名稱:	電子工程研究所
學號:	108063805
出版年(民國):	111
畢業學年度:	111
語文別:	英文
論文頁數:	138
中文關鍵詞:	極紫外光、微感測器陣列
外文關鍵詞:	Extreme Ultraviolet、Micro-Detectors Array
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